光学精密工程2006，Vol.14Issue(6)：939-943,5.
Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验
Experimental investigation on a laser-produced plasma source with liquid aerosol spray target
摘要
关键词
Xe液体微滴喷射靶/激光等离子体光源/极紫外投影光刻分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
尼启良..Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验[J].光学精密工程,2006,14(6):939-943,5.基金项目
国家自然科学基金(No.60677043) （No.60677043）
