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半导体学报
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a-Si:H/a-SiNx:H超晶格薄膜的制备及其性质
a-Si:H/a-SiNx:H超晶格薄膜的制备及其性质
王志超
刘湘娜
何宇亮
吴汝麟
半导体学报
Issue(1)：94,1.
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半导体学报
Issue(1)
：94,1.
a-Si:H/a-SiNx:H超晶格薄膜的制备及其性质
王志超
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刘湘娜
1
何宇亮
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王志超,刘湘娜,何宇亮,吴汝麟..a-Si:H/a-SiNx:H超晶格薄膜的制备及其性质[J].半导体学报,1987,(1):94,1.
半导体学报
ISSN：
1674-4926
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