传感技术学报2008，Vol.21Issue(6)：942-945,4.
基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型
A Verilog-A Model for Capacitive MEMS Accelerometers
摘要
关键词
MEMS加速度计/Verilog-A模型/寄生电容/热机械噪声分类
机械制造引用本文复制引用
赵楷,熊斌,车录锋..基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型[J].传感技术学报,2008,21(6):942-945,4.基金项目
国家自然科学基金项目资助(60474053) （60474053）
高技术研究发展计划项目资助(2006AA04Z363) （2006AA04Z363）
