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硅直接键合(SDB)技术在新型电力电子器件应用中的新进展

王彩琳 高勇 张新

电子器件2005,Vol.28Issue(4):945-948,957,5.
电子器件2005,Vol.28Issue(4):945-948,957,5.

硅直接键合(SDB)技术在新型电力电子器件应用中的新进展

Application of Silicon Direct Bonding Technique in New Power Electronic Device

王彩琳 1高勇 1张新1

作者信息

  • 1. 西安理工大学电子工程系,西安,710048
  • 折叠

摘要

关键词

硅直接键合/电力电子器件/集成门极换流晶闸管/集成门极双晶体管/MOS控制可关断晶闸管

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王彩琳,高勇,张新..硅直接键合(SDB)技术在新型电力电子器件应用中的新进展[J].电子器件,2005,28(4):945-948,957,5.

基金项目

陕西省教育厅专项科研计划项目,其编号为04JK245 ()

电子器件

OACSCD

1005-9490

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