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形成硅多层微机械结构的“掩模-无掩模”腐蚀新技术

李昕欣 杨恒 沈绍群 鲍敏杭

半导体学报Issue(12)：946,1.
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半导体学报Issue(12)：946,1.

形成硅多层微机械结构的“掩模-无掩模”腐蚀新技术

李昕欣 1杨恒 1沈绍群 1鲍敏杭1

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李昕欣,杨恒,沈绍群,鲍敏杭..形成硅多层微机械结构的“掩模-无掩模”腐蚀新技术[J].半导体学报,1997,(12):946,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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