Hg1-xCdxTe液相外延薄膜的X射线衍射OA北大核心CSCDCSTPCD
Hg1-xCdxTe Liquid Phase Epilayer by X-Ray Diffraction Method
采用高分辨X射线衍射的方法,研究了Hg1-xCdxTe液相外延材料的X射线衍射摇摆曲线和晶格常数随外延层厚度的变化关系.实验观察到了组分互扩散效应对摇摆曲线和材料晶格常数的影响.衬底与外延层之间的互扩散区约为2～3μm,在此区域,摇摆曲线半峰宽变窄,表明从衬底扩散来的Zn元素降低了界面处的位错密度.通过测量晶格常数随厚度的变化,得到了Cd组分的纵向分布,表面组分低,越靠近衬底组分越高,组分分布呈非线性变化,符合指数衰减关系.
魏彦锋;王庆学;陈新强;杨建荣;何力
中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083
电子信息工程
Hg1-xCdxTe液相外延X射线衍射
《半导体学报》 2004 (8)
946-950,5
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