无机材料学报2003，Vol.18Issue(4)：947-950,4.
热丝辅助ECR CVD制备cBN薄膜
Fabrication of Cubic Boron Nitride Films by Electron Cyclotron Resonance CVD Assisted with Hot Filament
摘要
关键词
cBN/ECR CVD/热丝分类
数理科学引用本文复制引用
张生俊,陈光华..热丝辅助ECR CVD制备cBN薄膜[J].无机材料学报,2003,18(4):947-950,4.基金项目
国家自然科学基金(19874007) （19874007）
北京市自然科学基金(2982013) （2982013）
