测试技术学报2002，Vol.16Issue(z2)：947-952,6.
提高微型气体传感器可靠性的有效方法-解决氧化锡敏感膜龟裂问题
An Efficient Method to Avoid Micro-cracks in Tin Oxide Gas Sensing Film
闫桂珍 1Philip C.H.Chan 2Johnny K.O.Sin 2I-Ming Hsing2
作者信息
- 1. 北京大学微电子学研究所,北京,100871
- 2. 香港科技大学电机与电子工程系,香港
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摘要
关键词
微机械/气体传感器/稳定性/SnO2/龟裂分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
闫桂珍,Philip C.H.Chan,Johnny K.O.Sin,I-Ming Hsing..提高微型气体传感器可靠性的有效方法-解决氧化锡敏感膜龟裂问题[J].测试技术学报,2002,16(z2):947-952,6.
