华中科技大学学报（自然科学版）2006，Vol.34Issue(2)：94-97,4.
超精密气浮轴承垂直方向的动力学分析
Dynamics analysis of air bearing with ultra-precision in vertical direction
摘要
关键词
气浮轴承/可压缩润滑理论/动力学解析分析/仿真分类
机械制造引用本文复制引用
何学明,陈学东,李斌..超精密气浮轴承垂直方向的动力学分析[J].华中科技大学学报（自然科学版）,2006,34(2):94-97,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50245011,503350202) （50245011,503350202）
国家高技术重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2003CB716206). （973计划）
