6H-SiC晶片的退火处理

姜守振蒋民华李娟陈秀芳王英民宁丽娜于光伟胡小波徐现刚王继杨

人工晶体学报2006，Vol.35Issue(5)：949-952,4.

Annealing Treatment of 6H-SiC Wafers

姜守振 ¹蒋民华 ¹李娟 ¹陈秀芳 ¹王英民 ¹宁丽娜 ¹于光伟 ¹胡小波 ¹徐现刚 ¹王继杨¹

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升华法/SiC/退火

数理科学

姜守振,蒋民华,李娟,陈秀芳,王英民,宁丽娜,于光伟,胡小波,徐现刚,王继杨..6H-SiC晶片的退火处理[J].人工晶体学报,2006,35(5):949-952,4.

山东省半导体照明工程关键技术和教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目（）

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ISSN：1000-985X

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