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用微波ECR等离子体溅射法在蓝宝石(0112)晶面上生长ZnO薄膜的研究

汪建华 袁润章 邬钦崇 任兆杏

ACTA PHYSICA SINICAIssue(5)：955-960,6.
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ACTA PHYSICA SINICAIssue(5)：955-960,6.

用微波ECR等离子体溅射法在蓝宝石(0112)晶面上生长ZnO薄膜的研究

汪建华 1袁润章 1邬钦崇 1任兆杏1

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汪建华,袁润章,邬钦崇,任兆杏..用微波ECR等离子体溅射法在蓝宝石(0112)晶面上生长ZnO薄膜的研究[J].ACTA PHYSICA SINICA,1999,(5):955-960,6.

ACTA PHYSICA SINICA

OA北大核心CSCDSCI

1000-3290

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