|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|光学精密工程|含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定

含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定

杨进堂

光学精密工程Issue(3)：96,1.
✕
光学精密工程Issue(3)：96,1.

含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定

杨进堂1

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光学精密机械研究所
  • 折叠

摘要

关键词

圆光栅/周期性误差/刻划误差检测

分类

机械制造

引用本文复制引用

杨进堂..含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定[J].光学精密工程,1997,(3):96,1.

光学精密工程

OACSCD

1004-924X

访问量1
|
下载量0
段落导航相关论文