半导体学报2005,Vol.26Issue(5):965-969,5.
P型GaN欧姆接触的比接触电阻率测量
Measurement of Specific Contact Resistivity of Ohmic Contact on p-GaN
摘要
关键词
p型氮化镓/比接触电阻率/传输线模型/圆形传输线模型分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
薛松,韩彦军,吴震,罗毅..P型GaN欧姆接触的比接触电阻率测量[J].半导体学报,2005,26(5):965-969,5.基金项目
国家重点基础研究发展规划(批准号:TG2000036601),国家高技术研究发展计划(批准号:2001AA312190,2002AA31119Z)和国家自然科学基金(批准号:60244001)资助项目 (批准号:TG2000036601)