华中科技大学学报（自然科学版）2002，Vol.30Issue(8)：96-97，103,3.
PLD制膜过程中等离子体羽辉演化的模拟
Simulation of the development of plasma plume generated by pulsed laser deposition of thin film
摘要
关键词
脉冲激光沉积/等离子体羽辉/差分模拟/粒子速度/KTN薄膜分类
数理科学引用本文复制引用
关丽,张端明,李智华,刘治..PLD制膜过程中等离子体羽辉演化的模拟[J].华中科技大学学报（自然科学版）,2002,30(8):96-97，103,3.基金项目
湖北省自然科学基金资助项目(2001ABB099) （2001ABB099）
湖北省教育厅重大科技项目基金资助项目(2000B5002). （2000B5002）
