信息与控制2002，Vol.31Issue(2)：97-101,5.
微电子机械虚拟设计系统研究
STUDY ON VIRTUAL DESIGN SYSTEM FOR MEMS
摘要
关键词
微电子机械/虚拟设计/虚拟工艺/虚拟组装/虚拟运行分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李明,赵新,卢桂章..微电子机械虚拟设计系统研究[J].信息与控制,2002,31(2):97-101,5.基金项目
国家863计划(863-512-980407),国家自然科学基金(69985006,60173061),教育部高等学校骨干教师资助计划,973计划"集成微光机电系统"项目和天津市自然科学基金共同资助项目 （863-512-980407）
