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硅基LiNbO3薄膜的微结构研究

卢焕明 叶志镇 黄靖云 汪雷 赵炳辉

无机材料学报2005,Vol.20Issue(4):971-975,5.
无机材料学报2005,Vol.20Issue(4):971-975,5.

硅基LiNbO3薄膜的微结构研究

Microstructure of LiNbO3 Thin Films Grown on Silicon Substrates by Pulsed Laser Deposition

卢焕明 1叶志镇 1黄靖云 1汪雷 1赵炳辉1

作者信息

  • 1. 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027
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摘要

关键词

LiNbO3薄膜/透射电子显微镜/PLD技术

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

卢焕明,叶志镇,黄靖云,汪雷,赵炳辉..硅基LiNbO3薄膜的微结构研究[J].无机材料学报,2005,20(4):971-975,5.

基金项目

国家自然科学基金重大研究计划(90101009) (90101009)

浙江省留学回国基金(20046) (20046)

无机材料学报

OA北大核心CSCDSCI

1000-324X

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