半导体学报2003，Vol.24Issue(9)：972-976,5.
硅基RF平面螺旋电感的圈数对品质因子的影响
Impact of Si-Based RF IC Spiral Inductor's Turns on Quality Factor
摘要
关键词
RF集成电路/平面螺旋电感/电感圈数/品质因子分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李小进,石艳玲,赖宗声,朱自强..硅基RF平面螺旋电感的圈数对品质因子的影响[J].半导体学报,2003,24(9):972-976,5.基金项目
国家重点基础研究发展规划(No.G1999033105)、国家自然科学基金(批准号:69876012,69975409)、上海应用材料研究与发展基金(No.0103)资助项目 （No.G1999033105）
