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低压应用的高性能甚高频功率VDMOSFETs

刘英坤 梁春广 邓建国 张颖秋 郎秀兰 李思渊

半导体学报2001,Vol.22Issue(8):975-978,4.
半导体学报2001,Vol.22Issue(8):975-978,4.

低压应用的高性能甚高频功率VDMOSFETs

High Performance VHF Power VDMOSFETs for Low Voltage Applications

刘英坤 1梁春广 2邓建国 3张颖秋 3郎秀兰 3李思渊3

作者信息

  • 1. 兰州大学物理系
  • 2. 河北半导体研究所
  • 3. 河北半导体研究所,
  • 折叠

摘要

关键词

低压/梯形栅结构/钼栅工艺/甚高频功率VDMOSFET

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘英坤,梁春广,邓建国,张颖秋,郎秀兰,李思渊..低压应用的高性能甚高频功率VDMOSFETs[J].半导体学报,2001,22(8):975-978,4.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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