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径向三重流MOCVD反应器输运过程的数值模拟

左然 张红 刘祥林

半导体学报2005，Vol.26Issue(5)：977-982,6.
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半导体学报2005，Vol.26Issue(5)：977-982,6.

径向三重流MOCVD反应器输运过程的数值模拟

Numerical Study of Transport Phenomena in a Radial Flow MOCVD Reactor with Three-Separate Vertical Inlets

左然 1张红 1刘祥林2

作者信息

  • 1. 江苏大学能源与动力工程学院,镇江,212013
  • 2. 中国科学院半导体研究所,北京,100083
  • 折叠

摘要

关键词

MOCVD/输运过程/热对流/数值模拟

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

左然,张红,刘祥林..径向三重流MOCVD反应器输运过程的数值模拟[J].半导体学报,2005,26(5):977-982,6.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:60376006)和国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA311242)资助项目 （批准号:60376006）

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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