重庆大学学报(自然科学版)2004，Vol.27Issue(4)：97-99,3.
室温溅射沉积ZnO:Al薄膜的工艺
ZnO:Al Films Prepared by RF Magnetron Sputtering at Room Temperature
摘要
关键词
ZnO:Al薄膜/磁控溅射/光电特性分类
通用工业技术引用本文复制引用
黄佳木,董建华,张兴元..室温溅射沉积ZnO:Al薄膜的工艺[J].重庆大学学报(自然科学版),2004,27(4):97-99,3.基金项目
重庆市科委攻关项目资助(2000-6214) （2000-6214）
