光学精密工程2005，Vol.13Issue(z1)：98-102,5.
微机械往复式无阀泵的振动特性分析
Analysis on the vibrating characteristics of a micro mechanical valve-less pump
摘要
关键词
微泵/微流控芯片/微机电系统分类
机械制造引用本文复制引用
王皓,罗先刚,姚汉民,杜春雷..微机械往复式无阀泵的振动特性分析[J].光学精密工程,2005,13(z1):98-102,5.基金项目
中国科学院光电技术研究所领域前沿部署课题资助(No.CK0212) （No.CK0212）
教育部博士点基金(No.20030610029)资助 （No.20030610029）
电子科技大学青年科技基金重点项目资助 （）
