高技术通讯2006，Vol.16Issue(9)：985-989,5.
与标准集成电路工艺兼容的硅基光学器件研究
A review on silicon photonics devices compatible with standard integrated circuits processes
摘要
关键词
集成电路工艺/硅基光电子集成回路/全硅光互连分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘海军,高鹏,陈弘达,顾明,许奇明,刘金彬,黄北举..与标准集成电路工艺兼容的硅基光学器件研究[J].高技术通讯,2006,16(9):985-989,5.基金项目
863计划(2002AA312240,2003AA312040)和国家自然科学基金(60536030)资助项目. （2002AA312240,2003AA312040）
