半导体学报2003，Vol.24Issue(9)：986-990,5.
亚100nm SOI器件的结构优化分析
Structure Optimization Analysis of Sub-100nm SOI Device
摘要
关键词
SOI器件/短沟效应/结构优化分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王文平,黄如,张国艳..亚100nm SOI器件的结构优化分析[J].半导体学报,2003,24(9):986-990,5.基金项目
国家重点基础研究专项基金(编号:2000036501)和国家自然科学基金资助项目 （编号:2000036501）
