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nc-Si/SiO2多层膜的制备及蓝光发射

隋妍萍 马忠元 陈坤基 李伟 徐骏 黄信凡

物理学报2003,Vol.52Issue(4):989-992,4.
物理学报2003,Vol.52Issue(4):989-992,4.

nc-Si/SiO2多层膜的制备及蓝光发射

The fabrication of nc-Si/SiO2 multilayers and blue-light emission

隋妍萍 1马忠元 1陈坤基 1李伟 1徐骏 1黄信凡1

作者信息

  • 1. 南京大学物理系,固体微结构物理国家重点实验室,南京,210093
  • 折叠

摘要

关键词

纳米硅多层膜/等离子体氧化/蓝光发射/热退火

分类

数理科学

引用本文复制引用

隋妍萍,马忠元,陈坤基,李伟,徐骏,黄信凡..nc-Si/SiO2多层膜的制备及蓝光发射[J].物理学报,2003,52(4):989-992,4.

基金项目

国家自然科学基金、国家重点基础研究发展规划(批准号:10174035,90101020和2001CB610503)和江苏省自然科学基金(批准号:BK2001028和BG2001002)资助的课题. (批准号:10174035,90101020和2001CB610503)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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