光学精密工程2006，Vol.14Issue(6)：990-997,8.
基于MEMS技术的微型分光光度计
Micro-spectrophotometer based on MEMS technology
摘要
关键词
微硅片对准/微硅片狭缝/微型分光光度计/微小型光纤光谱仪/微光机电系统分类
机械制造引用本文复制引用
周连群,吴一辉,张平,宣明,李正刚,贾宏光..基于MEMS技术的微型分光光度计[J].光学精密工程,2006,14(6):990-997,8.基金项目
国家863MEMS重大专题资助项目(No.2004AA404250) （No.2004AA404250）
中国科学院二期创新资助项目 （）
