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MOCVD法氧化锌单晶薄膜生长

刘博阳 杜国同 杨小天 赵佰军 张源涛 高锦岳 刘大力 杨树人

液晶与显示2004，Vol.19Issue(2)：99-102,4.
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液晶与显示2004，Vol.19Issue(2)：99-102,4.

MOCVD法氧化锌单晶薄膜生长

Study of ZnO Film Grown by MOCVD

刘博阳 1杜国同 2杨小天 1赵佰军 1张源涛 1高锦岳 1刘大力 2杨树人1

作者信息

  • 1. 吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子国家联合重点实验室,吉林,长春,130021
  • 2. 吉林大学,物理学院,相干光、原子与分子光谱教育部重点实验室,吉林,长春,130021
  • 折叠

摘要

关键词

氧化锌/金属有机化学气相沉积/薄膜/生长

分类

数理科学

引用本文复制引用

刘博阳,杜国同,杨小天,赵佰军,张源涛,高锦岳,刘大力,杨树人..MOCVD法氧化锌单晶薄膜生长[J].液晶与显示,2004,19(2):99-102,4.

基金项目

国家"863"高技术项目(No.2001AA311130) （No.2001AA311130）

国家自然科学基金资助项目(No.60177007 （）

No.60176026) （）

液晶与显示

OA北大核心CSCDCSTPCD

1007-2780

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