半导体学报2004，Vol.25Issue(1)：99-103,5.
利用(110)硅片制作体硅微光开关的工艺研究
Fabrication Technique of Bulk-Silicon Micro-Optical Switch in (110) Silicon
摘要
关键词
微反射镜/{111}面/湿法腐蚀/粗糙度/氢氧化钾溶液分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张龙,董玮,张歆东,刘彩霞,陈维友,徐宝琨..利用(110)硅片制作体硅微光开关的工艺研究[J].半导体学报,2004,25(1):99-103,5.基金项目
国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA312023),国家自然科学基金(批准号:69937010),吉林省科学计划(批准号:20010319)和跨世纪优秀人才培养计划基金资助项目 （批准号:2002AA312023）
