光学精密工程2007，Vol.15Issue(7)：997-1001,5.
化学刻蚀的光学元件面形修复
Form error of optical surface repaired by wet-etch figuring
摘要
关键词
光学元器件/化学刻蚀/面形修复/Marangoni界面效应/粗糙度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
项震,侯晶,聂传继,许乔,张清华,王健,李瑞洁..化学刻蚀的光学元件面形修复[J].光学精密工程,2007,15(7):997-1001,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目 （）
"NSAF基金"(No.10476025) （No.10476025）
