传感技术学报2010，Vol.23Issue(4)：501-507,7.
不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析
Effects of Different Structure of Sensing Capacitance on Performance of MEMS Capacitive Sensor
摘要
关键词
MEMS/微电容式惯性传感器/检测电容结构Key words
MEMS/Micro capacitive inertial sensor/Structure of detecting capacitance分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
董林玺,李寿洛,陈金丹,颜海霞,许立,王光义,孙玲玲..不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析[J].传感技术学报,2010,23(4):501-507,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目资助(60506015) （60506015）
浙江省自然科学基金资助项目资助(Y107105) （Y107105）
