传感技术学报2010，Vol.23Issue(3)：341-346,6.
基于频分复用的多路微电容检测技术
Frequency Multiplexing-Based Multi-Axis Capacitive Position Detection for an Electrostatically Levitated Micromotor
摘要
关键词
微电容检测/频分复用/检测灵敏度/零位稳定性/静电悬浮Key words
capacitance detection/frequency multiplexing/detecting sensitivity/zero stability/electrostatic levitation分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
付真斌,韩丰田,段光武..基于频分复用的多路微电容检测技术[J].传感技术学报,2010,23(3):341-346,6.基金项目
国家高技术研究发展计划(863)项目资助(2008AA04Z312) （863）
