电子科技2010，Vol.23Issue(3)：86-89,4.
一种新型三轴电容式加速度计的设计分析
Design and Analysis of a Novel Triaxis Capacitive Accelerometer
王守明 1汪祖民1
作者信息
- 1. 合肥工业大学,电子科学与应用物理学院,安徽,合肥,230009
- 折叠
摘要
关键词
不对称梳齿/电容式加速度计/体硅工艺分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王守明,汪祖民..一种新型三轴电容式加速度计的设计分析[J].电子科技,2010,23(3):86-89,4.基金项目
中国兵器工业第214研究所青年教师创新基金资助项目 （）
