光学精密工程2010，Vol.18Issue(3)：670-676,7.
UV-LIGA制作超高微细阵列电极技术
Fabrication of ultra-high metal micro electrode array using UV-LIGA technology
摘要
关键词
UV-LIGA/SU-8胶/电解/去胶/微细阵列电极Key words
UV-LIGA/SU-8 resist/electrochemical machining/resist removal/micro electrode array分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
胡洋洋,朱荻,李寒松,曲宁松,曾永彬,明平美..UV-LIGA制作超高微细阵列电极技术[J].光学精密工程,2010,18(3):670-676,7.基金项目
国家自然科学基金重点资助项目(No.50635040) （No.50635040）
江苏省自然科学基金资助项目(BK2007530) （BK2007530）
中国博士后科学基金特别资助项目(No.200801373) （No.200801373）
