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周期结构对AlTiN多层薄膜结合能影响

罗庆洪 杨会生 陆永浩 娄艳芝 于栋利 王燕斌

航空材料学报2010，Vol.30Issue(2)：45-50,6.
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航空材料学报2010，Vol.30Issue(2)：45-50,6.DOI:10.3969/j.issn.1005-5053.2010.2.009

周期结构对AlTiN多层薄膜结合能影响

Effect of AlTiN Composition Multilayer Coatings Periodic Structure on Adhesion

罗庆洪 1杨会生 2陆永浩 1娄艳芝 1于栋利 2王燕斌3

作者信息

  • 1. 北京科技大学,材料物理与化学系,北京,100083
  • 2. 北京航空材料研究院,北京,100095
  • 3. 燕山大学,材料科学与工程学院,河北,秦皇岛,066004
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摘要

关键词

中频反应磁控溅射/AlTiN多层薄膜/显微结构/结合能

分类

金属材料

引用本文复制引用

罗庆洪,杨会生,陆永浩,娄艳芝,于栋利,王燕斌..周期结构对AlTiN多层薄膜结合能影响[J].航空材料学报,2010,30(2):45-50,6.

基金项目

国家自然科学基金(50871018) （50871018）

航空材料学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1005-5053

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