西安科技大学学报2010，Vol.30Issue(2)：251-254,4.
传输矩阵法研究薄膜体声波谐振器
Research of thin film bulk acoustic resonators (FBAR) using transmission matrix method
摘要
关键词
传输矩阵/FBAR/阻抗/谐振频率/谐振品质因数分类
数理科学引用本文复制引用
张涛,马宏伟,郭长立,张永元,杨华平..传输矩阵法研究薄膜体声波谐振器[J].西安科技大学学报,2010,30(2):251-254,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50674075,10774074) （50674075,10774074）
陕西省自然科学基金资助项目(2009JQ1005) （2009JQ1005）
