红外技术2010，Vol.32Issue(3)：173-176,4.
钽掺杂对二氧化钒多晶薄膜相变特性的影响
The Influence of Tantalum Doping on the Phase Transition of IBED VO_2 Polycrystalline Film
摘要
关键词
二氧化钒薄膜/Ta掺杂/离子束增强沉积Key words
VO2 film/Ta doping/ion beam enhanced deposition/phase transition分类
通用工业技术引用本文复制引用
付学成,李金华,谢建生,袁宁一..钽掺杂对二氧化钒多晶薄膜相变特性的影响[J].红外技术,2010,32(3):173-176,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(编号: 60277019). （编号: 60277019）
