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光刻技术在金属板片刻蚀上的应用

宁建华

火箭推进2010，Vol.36Issue(1)：54-57,4.
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火箭推进2010，Vol.36Issue(1)：54-57,4.

光刻技术在金属板片刻蚀上的应用

Application of photoetching technique in metal diaphragm

宁建华1

作者信息

  • 1. 西安航天动力研究所,陕西西安,710100
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摘要

关键词

光刻技术/层板喷注器/膜片阀

分类

航空航天

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宁建华..光刻技术在金属板片刻蚀上的应用[J].火箭推进,2010,36(1):54-57,4.

火箭推进

1672-9374

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