无机材料学报2010，Vol.25Issue(3)：247-250,4.DOI:10.3724/SP.J.1077.2010.00247
BST/BZT/BST多层薄膜结构与性能研究
Structure and Properties of BST/BZT/BST Multilayer Film
秦文峰 1熊杰 2李言荣2
作者信息
- 1. 中国民航飞行学院,航空工程学院,广汉,618307
- 2. 电子薄膜与集成器件国家重点实验室,电子科技大学,成都,610054
- 折叠
摘要
关键词
BST/BZT/BST/薄膜/介电常数/漏电流Key words
BST/BZT/BST film/thin films/dielectric constant/leakage current characteristics分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
秦文峰,熊杰,李言荣..BST/BZT/BST多层薄膜结构与性能研究[J].无机材料学报,2010,25(3):247-250,4.
