表面技术2010，Vol.39Issue(1)：63-66,4.
沉积温度和退火处理对BCN薄膜结构的影响
Effects of Deposition Temperature and Annealing on Structure of BCN Thin Films
摘要
关键词
BCN薄膜/沉积温度/退火/脉冲激光沉积Key words
BCN thin films/Deposition temperature/Annealing/Pulsed laser deposition分类
矿业与冶金引用本文复制引用
杨琼,王传彬,章嵩,张东明,沈强,张联盟..沉积温度和退火处理对BCN薄膜结构的影响[J].表面技术,2010,39(1):63-66,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50772082) （50772082）
