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六维微位移、力全反馈纳米压印装备的关键技术与应用研究

刘品宽 高峰

中国科技成果2010，Vol.11Issue(5)：12-13,2.
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中国科技成果2010，Vol.11Issue(5)：12-13,2.DOI:10.3772/j.issn.1009-5659.2010.05.006

六维微位移、力全反馈纳米压印装备的关键技术与应用研究

刘品宽 1高峰1

作者信息

  • 1. 上海交通大学
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摘要

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刘品宽,高峰..六维微位移、力全反馈纳米压印装备的关键技术与应用研究[J].中国科技成果,2010,11(5):12-13,2.

基金项目

国家863 计划课题(2006AA04Z334). （2006AA04Z334）

中国科技成果

1009-5659

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