现代制造工程Issue(3)：100-103,4.
采用相移干涉原理平面度测量系统误差分析与校正
The analysis and calibration of systematic errors of phase-shifting interferometry for flatness measurement
摘要
关键词
平面度/误差分析/误差校正/Zernike多项式Key words
flatness measurement/error analysis/the calibration of measurement error/Zernike polynomials分类
机械制造引用本文复制引用
何向同,李保庆,许晓慧,马剑强,张晋弘,黄文浩,褚家如..采用相移干涉原理平面度测量系统误差分析与校正[J].现代制造工程,2010,(3):100-103,4.基金项目
安徽省自然科学基金项目(09041207) （09041207）
