发光学报2010，Vol.31Issue(2)：235-238,4.
射频溅射功率对AZO薄膜结构及光电特性和热稳定性的影响
Influence of Sputtering Power on the Structure,Optoelectronic Properties and Thermal Stability of ZnO:Al Films
摘要
关键词
磁控溅射/AZO薄膜/射频功率/热稳定性分类
数理科学引用本文复制引用
马晓翠,叶家聪,曹培江,柳文军,贾芳,朱德亮,吕有明..射频溅射功率对AZO薄膜结构及光电特性和热稳定性的影响[J].发光学报,2010,31(2):235-238,4.基金项目
国家自然科学基金(10674133,10604041) （10674133,10604041）
广东省自然科学基金(8151806001000009) （8151806001000009）
深圳市产学研科技合作(Y2005002) （Y2005002）
深圳市科技计划(200604,200706) （200604,200706）
深圳市南山区科技研发基金(南科院2008012)资助项目 （南科院2008012）
