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氧气流量对脉冲激光沉积ZnO薄膜的形貌及光学性质影响

曹培江 林传强 曾玉祥 柳文军 贾芳 朱德亮 马晓翠 吕有明

发光学报2010,Vol.31Issue(2):239-242,4.
发光学报2010,Vol.31Issue(2):239-242,4.

氧气流量对脉冲激光沉积ZnO薄膜的形貌及光学性质影响

Influence of Oxygen Flow Rate on the Morphology and the Optical Properties of Thin ZnO Films Grown by Pulsed Laser Deposition

曹培江 1林传强 1曾玉祥 1柳文军 1贾芳 1朱德亮 1马晓翠 1吕有明1

作者信息

  • 1. 深圳大学材料学院,深圳市特种功能材料重点实验室,广东,深圳,518060
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摘要

关键词

氧气流量/脉冲激光沉积/ZnO薄膜

分类

数理科学

引用本文复制引用

曹培江,林传强,曾玉祥,柳文军,贾芳,朱德亮,马晓翠,吕有明..氧气流量对脉冲激光沉积ZnO薄膜的形貌及光学性质影响[J].发光学报,2010,31(2):239-242,4.

基金项目

国家自然科学基金(60976036, 10604041) (60976036, 10604041)

广东省自然科学基金(8151806001000009) (8151806001000009)

深圳市产学研科技合作项目(Y2005002) (Y2005002)

深圳市科技计划(200604, 200706, ZYC200903250140A) (200604, 200706, ZYC200903250140A)

深圳市南山区科技研发资金(南科院2008012)资助项目 (南科院2008012)

发光学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-7032

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