东南大学学报（自然科学版）2010，Vol.40Issue(1)：95-100,6.DOI:10.3969/j.issn.1001-0505.2010.01.018
半导体制造过程的多工序协同控制模型
Multi-process cooperative control model for semiconductor manufacturing processes
摘要
关键词
半导体制造/协同控制/目标优化/质量控制Key words
semiconductor manufacturing/cooperative control/target optimization/quality control分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘国良,何博侠,张志胜,史金飞..半导体制造过程的多工序协同控制模型[J].东南大学学报（自然科学版）,2010,40(1):95-100,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50805023)、国家重点实验室开放基金资助项目(MSV200908)、江苏省青蓝工程资助项目(2008-30-1). （50805023）
