新型炭材料Issue(1)：48-52,5.
溅射辅助微波等离子体化学气相沉积SiCN晶体
Preparation of SiCN crystals using microwave plasma CVD assisted by pulsed nitrogen ion beam sputtering
摘要
关键词
SiCN晶体/微波等离子体/溅射/二氰二氨Key words
Silicon carbon nitride/Microwave plasma/Sputtering/Dicyandiamide target分类
数理科学引用本文复制引用
万军,马志斌,曹宏,吴振辉,汪建华..溅射辅助微波等离子体化学气相沉积SiCN晶体[J].新型炭材料,2010,(1):48-52,5.基金项目
湖北省自然科学基金(2005ABA023). （2005ABA023）
