发光学报2010，Vol.31Issue(2)：227-229,3.
额定压强下O2/Ar比对ZnO:Al薄膜导电性能的影响
Effects of O2/Ar Ratio at Rated Pressure on Conductivity of Thin ZnO:Al Films
摘要
关键词
射频磁控溅射/ZnO:Al(AZO)薄膜/O2/Ar比/导电性能分类
数理科学引用本文复制引用
邓雪然,邓宏,韦敏,陈金菊..额定压强下O2/Ar比对ZnO:Al薄膜导电性能的影响[J].发光学报,2010,31(2):227-229,3.基金项目
国家自然科学基金(50802012)资助项目 （50802012）
