机电工程技术2010，Vol.39Issue(2)：41-43,108,4.
应用于平板显示器检测的高精度五维运动台
High Precision Five-axis Positioner for Flat Panel Displays Measurement
摘要
关键词
平板显示器/检测/五维运动台/位置补偿分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
庄鹏..应用于平板显示器检测的高精度五维运动台[J].机电工程技术,2010,39(2):41-43,108,4.基金项目
国家863计划项目(编号:2006AA03A175) （编号:2006AA03A175）
国家质检总局科技计划项目(编号:2008QK146) （编号:2008QK146）
