红外技术2010，Vol.32Issue(1)：1-5,5.
320×240混合式非制冷红外焦平面探测器芯片工艺研究
Study on Processing of 320×240 Hybrid UFPA
许娅明 1任华1
作者信息
- 1. 昆明物理研究所,云南,昆明,650223
- 折叠
摘要
关键词
混合式/热释电/非制冷红外焦平面/工艺流程Key words
hybrid/pyroelectric/uncooled infrared focal plane array/process分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
许娅明,任华..320×240混合式非制冷红外焦平面探测器芯片工艺研究[J].红外技术,2010,32(1):1-5,5.
