材料工程Issue(2)：47-51,5.
退火对Y_2O_3薄膜结构和光学性能的影响
Effect of Annealing on Structure and Optical Properties of Y_2O_3 Thin Films
王耀华 1陈广超 2贺琦 2李成明 2吕反修2
作者信息
- 1. 北京航空材料研究院,北京,100095
- 2. 北京科技大学,材料科学与工程学院,北京,100083
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摘要
关键词
ESAVD/氧化钇薄膜/折射系数Key words
ESAVD/yttrium oxide thin film/refractive index分类
通用工业技术引用本文复制引用
王耀华,陈广超,贺琦,李成明,吕反修..退火对Y_2O_3薄膜结构和光学性能的影响[J].材料工程,2010,(2):47-51,5.
