光学精密工程2010，Vol.18Issue(2)：317-325,9.
激光直写中误差校正迭代方法的改进
Improvement of iterative error-correction method in laser direct writing
摘要
关键词
激光直写/邻近效应/误差校正迭代法Key words
laser direct writing/optical proximity effect/Iterative Error Correction Method(IECM)分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张山,谭久彬,王雷,程陶..激光直写中误差校正迭代方法的改进[J].光学精密工程,2010,18(2):317-325,9.基金项目
Supported by National Natural Science Foundation of China(Grant No.50675052) （Grant No.50675052）
