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UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构

杜立群 莫顺培 张余升 刘冲

光学精密工程2010，Vol.18Issue(2)：363-368,6.
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光学精密工程2010，Vol.18Issue(2)：363-368,6.

UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构

Fabrication of 3D metal microstructure based on UV-LIGA and micro-EDM technology

杜立群 1莫顺培 2张余升 1刘冲2

作者信息

  • 1. 大连理工大学,辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁,大连,116024
  • 2. 大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116024
  • 折叠

摘要

关键词

三维金属微结构/UV-LIGA/微细电火花加工/组合制作/表面粗糙度

Key words

3D metal microstructure/UV-LIGA/micro Electrical Discharge Mechining(EDM)/surface roughness

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

杜立群,莫顺培,张余升,刘冲..UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构[J].光学精密工程,2010,18(2):363-368,6.

基金项目

国家科技支撑计划资助项目(No.2006BAF04B13) （No.2006BAF04B13）

国家自然科学基金资助项目(No.50675025, No.50775020) （No.50675025, No.50775020）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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